- химическое осаждение из паровой фазы при атмосферном давлении
-
химическое осаждение из паровой фазы при атмосферном давлении
Процесс химического осаждения из паровой фазы, выполняемый при атмосферном давлении; результатом обычно бывает низкое качество пленки и низкая конформность по сравнению с аналогичным процессом при низком давлении (LPCVD).
[http://www.cscleansystems.com/glossary.html]Тематики
- полупроводниковые приборы
EN
- APCVD
- atmospheric pressure chemical vapor deposition
Справочник технического переводчика. – Интент. 2009-2013.
химическое осаждение из паровой фазы при атмосферном давлении — cheminis garinis nusodinimas atmosferos slėgyje statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. atmospheric pressure chemical vapor deposition vok. chemische Abscheidung aus der Gasphase bei atmosphärischem Druck, f rus. химическое… … Radioelektronikos terminų žodynas
atmospheric-pressure chemical vapor deposition — cheminis garinis nusodinimas atmosferos slėgyje statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. atmospheric pressure chemical vapor deposition vok. chemische Abscheidung aus der Gasphase bei atmosphärischem Druck, f rus. химическое… … Radioelektronikos terminų žodynas
cheminis garinis nusodinimas atmosferos slėgyje — statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. atmospheric pressure chemical vapor deposition vok. chemische Abscheidung aus der Gasphase bei atmosphärischem Druck, f rus. химическое осаждение из паровой фазы при атмосферном давлении, n… … Radioelektronikos terminų žodynas
chemische Abscheidung aus der Gasphase bei atmosphärischem Druck — cheminis garinis nusodinimas atmosferos slėgyje statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. atmospheric pressure chemical vapor deposition vok. chemische Abscheidung aus der Gasphase bei atmosphärischem Druck, f rus. химическое… … Radioelektronikos terminų žodynas
dépôt chimique en phase vapeur à pression atmosphérique — cheminis garinis nusodinimas atmosferos slėgyje statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. atmospheric pressure chemical vapor deposition vok. chemische Abscheidung aus der Gasphase bei atmosphärischem Druck, f rus. химическое… … Radioelektronikos terminų žodynas